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第三代半导体碳化硅外延材料产业化  
我有意向    2019-08-16    浏览:172  
技术简介
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成熟度证明
对厂房进行适应性装修,引进世界最新型的碳化硅外延晶片量产炉2台,建立起完整的碳化硅外延晶片生产线,采用具有自主知识产权的碳化硅外延生产技术,可实现规模化生产,形成年产2万片4至6英寸半导体碳化硅外延晶片的能力,同时还配备了最新型的进口外延晶片质量检测设备,以保证技术研发和产品生长的需求。该项目的完成单位已成为中国第一家提供产业化3英寸和4英寸碳化硅半导体外延晶片生产商,填补了国内该领域的空白。



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